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技術參數

● X 軸運動范圍≥2550mm, 位移精度不低于0.05mm/1000mm，重復定位精度優于0.05mm;

● Y 軸運動范圍≥350mm,  位移精度不低于0.05mm/1000mm，重復定位精度優于0.05mm;

● 傳動速度0~200mm/s 可調節，最小可調數值0.2mm/s;

● 探頭能量分辨率優于15%(122keV);

● 探測器具有屏蔽及降低本底的裝置；

● 準直系統材料為鉛；準直孔孔徑6.6mm;  準直器厚度40mm;

● 準直系統，直線度≤0.1mm。